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电子光学车间净化

浅论电子工厂洁净空调节能措施
发布时间:2014-12-10   浏览次数:3562

文章摘要:电子光学车间净化需要对空调的要求很高,如:温度、湿度、洁净度、空气品质、正压,而且工艺设备需要大量的排风,因此新风量较大。

  一、电子工厂空调特点

  1、电子工厂因工艺需要对空调的要求很高,如:温度、湿度、洁净度、空气品质、正压,而且工艺设备需要大量的排风,因此新风量较大。负荷(工艺)变化大,很多场合冷季还需要送冷风等上述特点也造成对能源消耗有着与其他工艺性空调(制药、食品、试验室、手术室等)与民用建筑空调的很大不同,所以在做电子工厂空调设计时所采取的方法也具有一定的特色。

  二、针对洁净空调系统的特点采取的节能措施

  1、洁净空调系统的风量比一般空调系统大,由于洁净的保证主要是依靠经过多级过滤后的干净空气稀释室内被污染的空气而达到洁净的效果,或者说是用被过滤过的干净空气将被污染的空气挤压出洁净室而达到高级别的洁净效果,因此洁净室由二种气流形成乱流和水平流,无论是乱流还是水平流的送风量,由于洁净所需的风量大于负荷所需的风量,因此二次回风空调系统被广泛的用于电子工厂空调系统中,二次回风的节能要点是可根据洁净室内负荷的变化来确定一、二次回风的比例,不会产生因送风温度过低而需要二次加热,造成能源浪费。

浅论电子工厂洁净空调节能措施

  2、由于电子工厂空调普遍的特点是冷负荷大而且变化也大,但湿负荷小,因此干盘管冷却加FFU在电子工厂空调系统中的应用已经成为二种很成熟的节能措施,此措施的特点是,免除了大量的送回风管所占据的空调大大减小了空调箱所需的风量也节约了空调机房的面积,很大的风量减少了很长(相对而言)的输送距离,也是干盘管、FFU组合的节能点。

  3、由于工艺设备造成的冷负荷很大,远远大于维护结构造成的冷、热负荷,因此电子工厂空调冬季往往不是需要送热风而是需要送冷风。不节能的做法是冬季让制冷机运行,满足空调和工艺冷却水的要求,其实只要室外空气的湿球温度达到了满足空调和工艺冷却水所需要的温度时就可以用室外空气作为冷源,具体的做法可用冷却塔加板式换热器,并建议冷却塔风机采用变频调节。

  4、由于电子工厂的生产工艺过程中有废热气体和有毒有害气体的产生,需要大量的排风,为满足洁净度的要求,洁净室内必须保持一定的正压值。因此新风量的补充和排风量是不可缺的手段,排出去的空气中的冷量和热量回收是一个很有效的节能手段,往往具体做法是通过全热换热器或者显热换热器来实现。

  润德净化工程企业称,由于电子工厂冬季需要制冷的缘故(还有很多空调系统冬季是开冷冻机的),因此在冷冻机运行过程中产生的热量加以利用这是一种很节能的措施,很多制冷机的生产厂商已经有了带热回收的制冷机,如何应用则是空调制冷系统设计者的工作,上述方法称作热回收应用。

  5、电子工厂洁净空调系统为了达到高级别的洁净度往往采取的是满布高效过滤器形成垂直水平流的气流组织状态,使由经过高效过滤器过滤的空气呈活塞压缩状的将被污染的空气被压缩到回风区域,由洁净空气替代,反复循环达到高级别的洁净空间,但最近有新的理论认为,只要在工作面上的空间气流呈水平状态就能满足工艺对空气洁净度的要求,所以工作面以上的空间可以有部分空间不必呈水平流的气流组织,而且认为上部是乱流状的空气可以由于洁净室的正压大于静压的正压值,可让这部分空气回流到静压箱内再经高效过滤器的过滤再送入洁净室内反复循环,这不会影响工作面上的洁净度,从而使水平流的洁净室高效过滤器的使用量减少,送风量也相应减少。这样的方法节能的空间很大。


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