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净化车间的防静电环境要求
发布时间:2019-06-29   浏览次数:1960

文章摘要:静电是净化车间非常难控制的因素之一,静电能增加半导体器件生产中的浪费,降低电子设备的可靠性。因此,净化车间在半导体器件的生产中,所有的制造阶段都需要防止静电对器件的影响。
  静电是净化车间非常难控制的因素之一,静电能增加半导体器件生产中的浪费,降低电子设备的可靠性。因此,净化车间在半导体器件的生产中,所有的制造阶段都需要防止静电对器件的影响。
净化车间

  消除静电的方法有很多,净化车间工程中经常采用以下方法进行防静电环境要求:

  1、选择合适的材料:

  清洁车间装修应采用不易产生静电或产生静电后能迅速泄漏的材料。当多个材料一起使用时,应选择电气顺序表中相互靠近的材料。所有材料可分为电导体或电绝缘体。导体是电流可以通过的材料,绝缘体是电流不能通过的材料。

  2、接地:

  接地是消除带电导体中静电较常用、非常经济、非常简单、非常可靠的方法。

  (1)净化车间内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉末管道应采取防静电接地措施。

  (2)电子工业洁净室的围护结构(天花板、地板、墙、柱)应采用防静电装饰,以抑制粉尘的带电吸附。

  (3)工艺设备接地。

  (4)办公设备应采用防静电材料,并接地。

  (5)员工应穿戴防静电无尘服、鞋、帽、手套、腕带等。

  3、中和作用:

  将带电体周围的空气(静电)电离后,带电离子在电磁场的作用下迁移,带电体吸引相反的电荷来中和和消除静电。静电消除器是一种能产生电子和离子的装置。它中和带电体上的电子、离子和各向异性电荷,从而消除静电。必须通过静电中和的方法消除绝缘材料表面和空气中的静电电荷。

  4、湿度控制:

  在众多的静电消除方法中,室内湿度控制也被认为能够在净化车间减少和消除静电。通过在环境中保持较高的相对湿度,该区域内的物体表面将形成一层薄薄的湿度层。这一薄层可以用来提供导电通道,使电位电荷可以流过湿层以消散静电电荷。此外,薄的湿气体层可以增加物体表面的润滑性,并且通过摩擦产生的电能也会减少。一般来说,湿度越低,产生的电荷越多。然而,数据表明,即使在高湿度条件下也能产生明显的静态电压。然而,在高湿度环境中,生产商可能会感到非常不舒服,零件可能生锈,并可能出现可焊性问题。


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